PLD真空系统（小型溅射离子枪，小型电子束蒸发器，准分子激光器）

一、仪器信息

仪器名称：PLD真空系统，小型溅射离子枪，小型电子束蒸发器，准分子激光器

仪器编号：2009004807，2008496907，2008518207，2008397107

所属实验室：分子团簇与纳米结构研究室

存放地点：北1-108房间

生产厂商：沈阳科学仪器研制中心有限公司，Oxford Applied Research，Thermo electron corporation, Coherent Laser Group

设备型号：LMBE-450，EX03，EGN-4，CompexPro 201

二、技术指标

主要包括脉冲准分子激光器、外延室、电器控制系统、进样室、气体电离系统、四极质谱仪、表面清洗离子枪、小型电子束蒸发装置、激光束扫描系统、计算机控制系统等。

PLD真空系统：极限真空优于3.0×10-8Pa（经烘烤除气后），可进行真空样品传递；

准分子激光器：主波长248nm，单脉冲能量可达700mJ，脉宽25ns，脉冲稳定性：<±1%。

负责人：赵风周

联系方式：fzzhao@ldu.edu.cn